Flow Range:0–15 SLPM
Accuracy:±(1.5% of reading + 0.5% of full scale)
Repeatability:±0.5% of full scale
Flow Range:0 - 2000 sccm
Accuracy:±(2.0 + 0.5FS)%
Range Ratio:100:1
Measurement Range:0–2 SLPM (Standard Liter per Minute)
Accuracy:±(1.5% + 0.2% F.S.)
Repeatability:±0.25%
Measurement Range:0–50 SLPM
Accuracy:±(2.0% + 0.5% F.S.)
Repeatability:±0.75%
Measurement Range:0–500 SLPM
Accuracy:±1.5% of Full Scale (F.S.)
Repeatability:±0.75%
Measurement Range:0 - 800 SLPM
Accuracy Grade:1.5% F.S
Nominal Diameter:19mm
Сила:11.4~25.2 В
Диапазон:0.5~10,1.8~32,5~85,9~150 л/мин
Точность полный диапазон:x±1% ((<50% диапазон)
Диапазон потока:0 ~ 2000... 6000
Точность:±(2,0+0,5FS) %
Коэффициент убыли:> 100:1
Для использования с:Сухой газ
Диапазон:+/- 200 cm/min
Точность:0.35 %
Monitoring scope:500sccm
Accuracy:0.5%
Output voltage:4.5V
Дрейф выходного сигнала в нулевой точке:+30 мВ
Дрейф на выходе:+0.12 %/°C
Рабочее энергоснабжение:8-18 В пост. тока, 100 мА
Путь (N):2.3.4.5
Расход:10, 20, 30, 40, 50 л/мин
Соотношение дальности:100:1