|
Подробная информация о продукте:
|
| В натуральную величину: | 100 SCCM | Источник питания: | от +15 до +28 В постоянного тока (одинарное питание) |
|---|---|---|---|
| Сигнал: | аналоговый 0–5 В; поддерживает цифровую связь RS485 | Точность: | ±1% полной шкалы; Повторяемость: ±0,2% полной шкалы |
| Выделить: | Контроллер газового массового потока для производства полупроводников,датчик расхода медицинского воздуха с гарантией,AS200A008C100CJCC Регулятор потока |
||
AS200A008C100CJCC Регулятор массового потока газа Использование в процессе производства полупроводников
Типичные применения
Обработка полупроводников, КВД, системы распределения газа, лабораторное управление газом, аналитические приборы и т.д.
Спецификация:
| Уровень утечки | 1×10−10 Pa·m3/s (He) |
| Сопротивление давлению | 3 МПа |
| Серия продуктов AS200 | Контроллер газового массового потока MEMS |
| A (тип уплотнения) | A = резиновый уплотнитель; Сигнал: аналоговый вход/выход 05V |
| 008 (код газа) | 008 соответствует указанному газу |
| C (единица диапазона) | C = SCCM (стандартные кубические сантиметры в минуту) |
| 100 (полной шкалы) | 100 SCCM |
| CJCC | Суффикс для интерфейса, типа клапана, электрической и фитинговой комбинации |
![]()
Контактное лицо: Xu
Телефон: 86+13352990255