YJJ AGP4000H00 MEMS высокоточный цифровой холодный катодный композитный вакуумный габарит

Описание продукта:

YJJ AGP4000H00 MEMS Высокоточный цифровой композитный вакуумметр с холодным катодом Вакуумметр Пирани

Функции:

I. Знакомство с продуктом

Модель: AGP4000H00, композитный вакуумметр полного диапазона, встроенный датчик теплопроводности Пирани (измерение атмосферного и среднего вакуума) + ионизационный датчик с холодным катодом (измерение высокого вакуума)

Автоматическое двухрежимное переключение, нет необходимости в сопряжении с двумя независимыми вакуумметрами. Встроенный зонд для измерения вакуума из нержавеющей стали, оснащенный локальным цветным TFT-дисплеем. Также поддерживает подключение аналогового/цифрового сигнала к ПЛК, сенсорному экрану, хосту промышленного управления.

Отличительная особенность: сенсорный экран Prophiles AGP4000 похож на эту модель вакуумметра, но это совершенно другой продукт. Не следует путать покупку и подключение оборудования.

II. Основные параметры производительности

1. Диапазон измерения вакуума (композитный двойной манометр)

Общий диапазон измерений: 5×10⁻⁶ Па ～ 1×10⁵ Па (охват 6 порядков величины, охватывающий грубую откачку, средний вакуум и высокий вакуум на протяжении всего процесса)

Рабочий диапазон Пирани: 1×10⁵ Па ~ 10 Па (всегда включен на протяжении всего процесса, мониторинг от атмосферного до среднего вакуума)

Порог автоматического запуска с холодным катодом: <10 Па, автоматически начинает измерение ионизации при высоком вакууме ниже этого уровня, нет необходимости в ручном переключении

Единицы измерения: Па / мбар / Торр, три единицы измерения могут переключаться одновременно, с китайским и английским интерфейсами.

2. Точность и стабильность

Ошибка повторяемости: ≤±5% показаний

Точность измерения: ±30% от полной шкалы.

Скорость отклика: отклик Пирани на уровне миллисекунд; Быстрый и стабильный запуск с холодным катодом при высоком напряжении

Характеристики защиты от загрязнения: холодный катод не имеет нагретой вольфрамовой нити, не горит от паров масла или пыли покрытия, имеет гораздо более длительный срок службы, чем ионизационный датчик с термокатодом.

3. Характеристики электропитания.

Напряжение источника питания: 15 ~ 30 В постоянного тока, широкий диапазон постоянного тока

Общая потребляемая мощность: ≤6 Вт

Встроенный интерфейс связи/питания: встроенный источник питания RJ45 + RS485

Цифровая связь: Modbus RTU, регулируемая скорость передачи данных 4800/9600/19200/115200 бод, поддержка сети с несколькими устройствами (адреса 1–255)

Аналоговый выход: логарифмическое напряжение 0–10 В, может быть напрямую подключено к рекордерам, аналоговым модулям ПЛК.

Количество переключателей: 2 программируемых сигнальных реле, можно установить порог высокого/низкого вакуума для связи насосов, клапанов и сигнальных лампочек.

4. Механические, экологические, материалы.

Вакуумный фланец: стандартный быстросъемный фланец KF25, отличная воздухонепроницаемость, поддерживает установку под любым углом.

Материал контакта полости: электрополированная нержавеющая сталь 304/316, подходит для безмасляных вакуумных систем с мягкой масляной смазкой.

Диапазон рабочих температур: 5 ℃ ~ 55 ℃

Диапазон температур хранения: -20℃～70℃

Защита: металлическое уплотнение всей машины, датчик устойчив к пыли и небольшому загрязнению маслом.

Экран: цветной дисплей Micro TFT, отображение значения вакуума в реальном времени, внутренней температуры, состояния связи, двухцветные сигнальные лампы для высокого/низкого вакуума.

III. Принцип работы

Датчик Пирани (принцип теплопроводности)

Внутренний нагревательный резистор MEMS, молекулы газа поглощают тепло, чем выше давление, тем быстрее рассеивается тепло, тем ниже температура сопротивления; схема собирает изменения сопротивления и преобразует атмосферный уровень вакуума в 10 Па, непрерывно работая на протяжении всего процесса.

Ионизационный датчик с холодным катодом (паннинговый разряд)

Когда вакуум ниже 10 Па, автоматически загружается высокое напряжение, ионизация газа генерирует ионный ток; чем выше вакуум, тем меньше ионный ток, тем самым измеряя диапазон высокого вакуума 10 Па ~ 10⁻⁶Па.

Встроенный MCU автоматически определяет диапазон давления, плавно переключается между двумя режимами измерения, равномерно выводит значение вакуума, нет необходимости в внутреннем оборудовании для выполнения логического переключения диапазона.

IV. Основные преимущества

Один манометр покрывает весь диапазон вакуума, заменяя традиционное решение с двумя зондами «Датчик Пирани + Ионизационный датчик», что снижает стоимость оборудования и пространство для установки; Холодный катод без нити накала, не боится атмосферного воздействия или загрязнения покрытия, не требует особого обслуживания, пригоден для непрерывного круглосуточного промышленного производства;

Он оснащен локальным цветным экраном, позволяющим считывать значения вакуума на месте без использования верхнего компьютера, что упрощает отладку и обслуживание;

Он также имеет двойные аналоговые и цифровые выходы 0–10 В + Modbus, совместимые с сенсорными экранами Proflex, различными ПЛК и системами сбора данных промышленного управления;

Широкий диапазон напряжения постоянного тока 15–30 В, совместимость со шкафами для оборудования постоянного тока, высокая совместимость на промышленных объектах;

Универсальный стандартный фланец KF25 подходит для молекулярных насосов, механических насосов и стандартных трубопроводов вакуумных камер.

VII. Основные сценарии применения

1. Полупроводниковое оборудование, оборудование для нанесения вакуумных покрытий (основное применение)

Магнетронное распыление, испарительные машины, оптическое покрытие, оборудование для производства проводящей пленки ITO

Упаковка пластин, плазменная очистка, оборудование для травления, контроль всего процесса грубой откачки → кривая процесса высокого вакуума

Обнаружение утечек в вакуумной полости в сочетании с оборудованием для обнаружения утечек гелия для определения точки утечки.

2. Научно-исследовательское лабораторное оборудование

Анаэробные инкубаторы для ячеек, вакуумные сушильные шкафы, печи для спекания горячим прессованием.

Камеры для моделирования климата, стенды для испытаний на герметичность, оборудование для испытаний на вакуумное старение материалов

Исследовательские высоковакуумные экспериментальные камеры, мониторинг вакуума источника ионов

3. Литиевая батарея, новое оборудование для производства энергии.

Вакуумная обжиг литиевой батареи, вакуумная камера для впрыска, станция обнаружения утечек герметичности ячеек

Система выпаривания электролита для пеногашения, оборудование для вакуумной окраски электродов

4. Аэрокосмическая промышленность, отрасль прецизионных испытаний.

Высоко- и низкотемпературные вакуумные испытательные камеры для аэрокосмических компонентов, оборудование для моделирования космической среды космических аппаратов

Прецизионные приборы, вакуумные калибровочные станции датчиков

5. Медицинское вспомогательное вакуумное оборудование.

Медицинские камеры отрицательного давления, стерильное оборудование для вакуумной стерилизации, машины для сублимационной сушки биологических образцов.

Сопутствующие дыхательные аппараты, управление вакуумным давлением (можно комбинировать с датчиком CO₂ ExplorIR-M-5)

6. Общепромышленная вакуумная автоматизация.

Вакуумно-адсорбционное оборудование отрицательного давления, вакуумные упаковочные машины, управление рычажным соединением группы вакуумных насосов, автоматический пуск-останов механических насосов при превышении предела вакуума, молекулярные насосы, запорные клапаны.

VI. Поддержка интерфейсных решений (совместимых с существующими материалами)

Верхний дисплей: сенсорный экран AGP4000 Proflex, считывание значений вакуума через Modbus RJ45, отображение кривой, сигналов тревоги и логики автоматического процесса;

Газовая связь: в сочетании с датчиком CO₂ ExplorIR-M-5, датчиком запаха ZP152, реализует комплексный мониторинг вакуума в камере + концентрации газа;

Медицинская комплектная машина: в сочетании с хостом мониторинга датчика кислорода в крови DS100A, используемым для интегрированного оборудования для медицинского вакуума + признаков жизни.

Технические характеристики: