YJJ MF5006-N2M-E-0.5-50-15-AB-D-A MEMS Массовый потокомер теплового газа 0,5-50 SLPM 1,5MPa

Описание продукта:

YJJ MF5006-N2M-E-0.5-50-15-AB-DA MEMS Термальный массовый расходомер газа 0,5–50 SLPM 1,5 МПа

Функции:

I. Разборка модели (подробное значение каждой позиции)

MF5006-N2M-E-0.5-50-15-AB-DA

MF5006: Серия, DN6 (внутренний диаметр 6 мм, интерфейс 1/4 дюйма)

N2: стандартный газ = азот (N₂).

M: Принцип теплового массового расхода MEMS

E: Корпус из алюминиевого сплава

0,5: Минимальный диапазон 0,5 SLPM (стандартные литры в минуту при 20°C/1 атм)

50: Максимальная дальность 50 SLPM

15: Максимальное рабочее давление 1,5 МПа.

AB: Выход = 4–20 мА + RS485 (Modbus-RTU)

D: С ЖК-дисплеем (мгновенный + совокупный расход)

A: Стандартная конфигурация (без специальной настройки)

II. Основные параметры (MF5006-N2M-E-0.5-50-15-AB-DA)

1. Производительность измерения

Измеряемая среда: N₂, воздух, O₂, Ar, CO₂ и т. д. Сухая, чистая, без масла, без конденсата.

Отверстие/интерфейс: DN6, внутренняя резьба 1/4 дюйма (G1/4 или NPT1/4)

Диапазон (N₂, 20°C/1 атм): 0,5–50 SLPM (стандартные литры/минуту)

Точность: ±(1,5% показаний + 0,2% полной шкалы)

Повторяемость: ≤±0,5% полной шкалы

Соотношение диапазонов: 100:1 (широкий диапазон, низкая чувствительность к расходу)

Время отклика: ≤100 мс (быстрое отслеживание изменений потока)

Начальный расход: от низкого до 8 мм/с (чрезвычайно малый измеримый расход)

2. Электрика и мощность

Источник питания: 12–24 В постоянного тока ±10 %, потребляемая мощность < 2 Вт.

Аналоговый выход: 4–20 мА (соответствует 0–50 SLPM)

Связь: RS485 (Modbus-RTU), сетевой удаленный мониторинг.

Дисплей: ЖК-экран, отображает мгновенный расход (SLPM) + совокупный расход

3. Механика и окружающая среда

Материал корпуса: алюминиевый сплав (тип E), легкий, устойчивый к коррозии.

Материал контакта: нержавеющая сталь 316L.

Рабочее давление: ≤1,5 ​​МПа (15 бар)

Рабочая температура: от -20°C до +60°C.

Влажность: 0–95 % относительной влажности (без конденсации).

Степень защиты: IP40 (пылезащитный, в помещении/общей промышленной среде)

Установка: Горизонтальная/вертикальная установка по желанию, прямой сегмент трубы не требуется (преимущество MEMS Thermal)

4. Основные характеристики

MEMS Thermal: прямое измерение массового расхода, без компенсации температуры/давления, точность. Влияют колебания температуры/давления.

Сверхнизкий перепад давления: минимальная потеря давления, подходит для систем низкого давления/малого расхода.

Высокая стабильность: дрейф нулевой точки небольшой, длительный срок службы не требует обслуживания

III. Основные области применения (точное измерение газов малого диаметра и малого расхода)

1. Полупроводники/электроника (основной сценарий)

Азот высокой чистоты (N₂), кислород (O₂), аргон (Ar), соотношение технологических газов и контроль расхода

Точный контроль малого расхода газа в оборудовании для обработки пластин, диффузии, травления и осаждения

2. Медицинский/Фармацевтический

Мониторинг потока подачи кислорода/азота в больнице (респираторы, наркозные аппараты)

Фармацевтический стерильный газ, защитный газ (N₂/Ar) Точное измерение

3. Лаборатория/Исследования

Малый расход, смешивание, мониторинг реакционных газов экспериментальных газов (N₂/O₂/Ar/CO₂)

Измерение низкого расхода газа для катализа, сжигания, отбора проб окружающей среды и т. д.

4. Промышленная автоматизация

Стабильный контроль небольшого расхода сварочного защитного газа (Ar/CO₂)

Мониторинг потока прецизионной обработки, контрольное оборудование для продувки/защитного газа

Небольшая отрасль производства сжатого воздуха / Измерение энергопотребления на конечном оборудовании

5. Экология/Новая энергетика

Отбор проб малых потоков выхлопных газов низкой концентрации и отходящих газов

Измерение газообразного водорода низкой концентрации для водородных топливных элементов

Технические характеристики: