AGP4000 MEMS Высокоточный цифровой вакуумметр с холодным катодом и композитным датчиком

AGP4000 MEMS Высокоточный цифровой дисплей с холодным катодом Композитный вакуумный габарит

Использование:

• Производство полупроводников: используется для точного мониторинга вакуумной среды в процессах производства полупроводников, таких как покрытие полупроводников.Точный контроль степени вакуума имеет решающее значение для качества и производительности полупроводниковых изделий, а AGP4000 может обеспечить надежные данные вакуума для обеспечения стабильности процесса.
• Аэрокосмическая область: при испытаниях компонентов в аэрокосмической отрасли и других сценариях необходимо моделировать различные вакуумные среды для проверки производительности компонентов.AGP4000 может осуществлять полномасштабное наблюдение от низкого вакуума до высокого вакуума, обеспечивая важную информационную поддержку для аэрокосмических исследований, разработок и испытаний.
• Точные научные исследования: В точных научных исследованиях, таких как некоторые физические и химические эксперименты, требующие высокоточного контроля вакуумной среды,AGP4000 может помочь исследователям точно получить информацию о степени вакуума, обеспечивая точность и повторяемость результатов экспериментов.
• Приложения для вакуумных печей: для вакуумных печей на разных этапах процесса требуются разные степени вакуума.и сотрудничать с системой управления для регулирования степени вакуума, чтобы обеспечить тепловую обработку материалов и срок службы печи.

Особенности:

• Широкий диапазон и высокая точность измерения: он может достичь полного диапазона точного мониторинга от низкого вакуума до высокого вакуума (1×10−6Pa ~ 1×105Pa), охватывающего широкий диапазон 6 порядков величины,с ошибкой повторяемости ≤ ± 5%, и отличная долгосрочная стабильность, обеспечивая надежную базу данных для ключевых процессов.
• Двойная технология Интеллектуальное сотрудничество: система Пирани работает на протяжении всего процесса, и когда степень вакуума < 10 Pa,холодно-катодная система автоматически запускается без ручного вмешательства, что полностью решает проблему ограничения дальности традиционного оборудования.
• Прочный и долговечный: конструкция холодной катоды не требует нагревательной нити, которая обладает сильной антизагрязнительной способностью, значительно продлевает срок службы и снижает стоимость обслуживания.
• Истинный цвет визуализации: Он оснащен высококачественным цветным экраном TFT - LCD, который может динамически отображать значение давления в режиме реального времени,и может переключаться между тремя единицами (Pa/Torr/mbar) одной клавишей, а также отображает температуру, состояние связи и высоковольтные знаки включения и выключения (красное / синее двухцветное предупреждение), чтобы данные были ясны на первый взгляд.
• Выход двойного режима: он имеет линейный аналоговый сигнал 0 ~ 10 В, который может быть напрямую подключен к промышленному оборудованию, такому как ПЛК и регистраторы, и поддерживает логарифмические формулы преобразования,облегчение адаптации к системеВ то же время, он имеет стандартный протокол Modbus RTU, который реализует RS485 связь через интерфейс RJ45, поддерживает сеть многоустройств,и совместим с основными промышленными системами управления, помогая построить интеллектуальную сеть контроля вакуума.
• Простая установка и надежная эксплуатация: стандартно оснащен фланцем из нержавеющей стали KF25.который имеет отличную герметичность и поддерживает установку в любом направлении (рекомендуется вертикальная установка)Он имеет широкое напряжение питания (15 ~ 30 В постоянного тока) и энергопотребление ≤ 6 Вт, что может адаптироваться к суровой промышленной среде.
• Интеллектуальная калибровка и удобная эксплуатация: имеет трехуровневый дизайн интерфейса на основе меню, поддерживает переключение на китайский и английский языки, может устанавливать параметры и единицы связи на месте,выполнять 0.1Pa/ атмосферное давление, и даже восстановить заводские настройки одним ключом, что значительно снижает порог эксплуатации и технического обслуживания.