AWM42300V Микромостный датчик газового потока для аналогового выхода сухого газа

Описание продукта:

AWM42300V Микромостный датчик газового потока для аналогового выхода сухого газа

Особенности:

датчик потока массы газа серии AWM40000, неусиленный (mV), диапазон потока/давления: ±1000 SCCM (1,0 SLPM);Тип интерфейса: многослойный.

операция

Принцип микромоста датчика массового потока газа - теплопередача.Массовая скорость потока газа направляется по поверхности датчика.Выходное напряжение пропорционально массе воздуха или другого газа, протекающего через вход и выход упаковки.Специально разработанный корпус оптимально направляет и контролирует воздушный поток через микроструктурные элементы датчиков.Упаковка механически сконструирована для легкой установки на печатную плату.

Датчик массового потока газа микромоста содержит передовой кремниевый чип, основанный на передовой технологии микроструктуры.Чип использует тонкую пленку и адьябатическую мостную структуру с нагревательным и температурным сенсорным элементом.Мостовая структура может быстро и чувствительно реагировать на воздушный поток воздуха или других газов, протекающих через чип.Двойные детекторы с обеих сторон центрального нагревателя также указывают направление и скорость потока.Лазерная коррекция толщины пленки и сопротивления пленки обеспечивает постоянную взаимозаменяемость от датчика к датчику в любое время.

Датчики массового потока газа микромоста используют тепловые резисторы, завернутые в нитрид кремния.Эти резисторы подвешены, образуя два моста над оформочной полостью кремниевого чипа.Чип помещается в канал воздушного потока размера ***, чтобы обеспечить повторяемую реакцию потока.Выгравируя полость под мостом для обнаружения потока, нагреватель и резистор для обнаружения могут достичь эффективной теплоизоляции.Небольшие размеры и теплоизоляционная функция датчика массового потока газа микромоста обеспечивают максимальную скорость ответа и высокую чувствительность к потоку воздуха.

Wheatstone Twin Bridges контролируют измерение воздушного потока - один обеспечивает управление нагревателем в замкнутом цикле, а другой содержит двойные сенсорные элементы.Цепь нагревателя уменьшает вариации выхода, вызванные изменениями температуры окружающей среды, обеспечивая выход пропорционально массовой скорости потока.Эта схема поддерживает температуру нагревателя при постоянной температурной разнице выше температуры окружающей среды (160°C), который определяется измерением теплового сопротивления на чипе.Выход устройства пропорционален напряжению питания и также соответствует дифференциальному напряжению цепи моста Wheatstone.

Спецификации: