датчик AWM42300V измерителя прокачки массы газа моста ±1000sccm микро-

датчик AWM42300V измерителя прокачки массы газа моста ±1000sccm микро-

датчик AWM42300V массового распространения газа Микро-моста ±1000sccm

Особенности:

Датчик массового распространения газа Microbridge использует термальное сопротивление в оболочке в тонком фильме нитрида кремния. Приостанавливаны и формируют эти резисторы 2 моста над вытравляя полостью кремниевой пластины. Обломок помещен в самом лучшем канале воздушного потока спецификации для того чтобы обеспечить repeatable ответ подачи. Путем вытравлять полость под подачей воспринимая мост, подогреватель и воспринимая резистор достигает эффективной термальной изоляции. Небольшой размер и термальная функция изоляции датчика массового распространения газа микро-моста достигнуть быстрого ответа и высокой чувствительности к воздушному потоку.

Измерение воздушного потока управлением двойн-моста Wheatstone - одно предусматривает управление подогревателя короткозамкнутого витка, другое содержит двойные чувствительные элементы. Цепь подогревателя уменьшает изменение выхода должное к изменению температуры окружающей среды путем обеспечивать выход пропорциональный к массовому расходу потока. Эта цепь поддерживает температуру подогревателя на разнице в температуры постоянного над температурой окружающей среды (°C 160), которая измерена термальным сопротивлением на обломоке. Выход прибора пропорциональн к подаче напряжения и также соответствует к дифференциальному напряжению тока мостиковой схемы Wheatstone.

Спецификации: